ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚିଂ ମେସିନ୍ ଗଠନ |

ଆଇସିପି ଯନ୍ତ୍ରପାତି ମୁଖ୍ୟତ four ଚାରୋଟି ଅଂଶକୁ ନେଇ ଗଠିତ: ପ୍ରି - ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର, ଇଚିଂ ଚାମ୍ବର, ଗ୍ୟାସ୍ ଯୋଗାଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ |

(1) ପ୍ରି - ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର |

ପ୍ରି - ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରର କାର୍ଯ୍ୟ ହେଉଛି ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ଯେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଶୂନ୍ୟ ସ୍ତରରେ ଇଚିଂ ଚାମ୍ବର ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କରାଯାଏ, ବାହ୍ୟ ପରିବେଶ (ଯେପରିକି ଧୂଳି, ଜଳୀୟ ବାଷ୍ପ) ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଭାବିତ ହୁଏ ନାହିଁ ଏବଂ ପରିଷ୍କାର କୋଠରୀରୁ ବିପଜ୍ଜନକ ଗ୍ୟାସ୍ ପୃଥକ କରେ|ଏଥିରେ ଏକ କଭର, ମନିପ୍ୟୁଲେଟର, ଟ୍ରାନ୍ସମିସନ୍ ମେକାନିଜିମ୍, ଏକ ବିଚ୍ଛିନ୍ନ ଦ୍ୱାର ଇତ୍ୟାଦି ରହିଥାଏ |

(୨) ଏଚିଂ ଚାମ୍ବର |

ଇଚିଂ ଚାମ୍ବର ହେଉଛି ଆଇସିପି ଇଚିଂ ଉପକରଣର ମୂଳ ଗଠନ|ଇଚିଂ ହାର, ଇଚିଂର ଭୂଲମ୍ବତା ଏବଂ ରୁଗ୍ଣତା ଉପରେ ଏହାର ସିଧାସଳଖ ପ୍ରଭାବ ପଡିଥାଏ|ଇଚିଂ ଚାମ୍ବରର ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି: ଉପର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍, ଆଇସିପି ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ୟୁନିଟ୍, ଆରଏଫ୍ ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ୟୁନିଟ୍, ଲୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସିଷ୍ଟମ୍, ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ଇତ୍ୟାଦି |

(3) ଗ୍ୟାସ୍ ଯୋଗାଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା |

ଗ୍ୟାସ ଯୋଗାଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା ହେଉଛି ଇଚିଂ ଚାମ୍ବରକୁ ବିଭିନ୍ନ ଇଚିଂ ଗ୍ୟାସ ବିତରଣ କରିବା ଏବଂ ପ୍ରେସର ନିୟନ୍ତ୍ରକ (PC) ଏବଂ ମାସ ଫ୍ଲୋ କଣ୍ଟ୍ରୋଲର (MFC) ମାଧ୍ୟମରେ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବାହ ହାର ଏବଂ ପ୍ରବାହକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା|ଗ୍ୟାସ ଯୋଗାଣ ବ୍ୟବସ୍ଥାରେ ଏକ ଗ୍ୟାସ ଉତ୍ସ ବୋତଲ, ଏକ ଗ୍ୟାସ ବିତରଣ ପାଇପଲାଇନ, ଏକ କଣ୍ଟ୍ରୋଲ ସିଷ୍ଟମ, ମିଶ୍ରଣ ୟୁନିଟ୍ ଇତ୍ୟାଦି ରହିଥାଏ |

(4) ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ |
ଦୁଇଟି ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଅଛି, ଗୋଟିଏ ପ୍ରି - ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର ପାଇଁ ଏବଂ ଅନ୍ୟଟି ଇଚିଂ ଚାମ୍ବର ପାଇଁ|ପ୍ରି - ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର ଏକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପ ଦ୍ୱାରା ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ|କେବଳ - ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ଥିବା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ମୂଲ୍ୟରେ ପହଞ୍ଚିବା ପରେ ୱେଫର୍ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରିବା ପାଇଁ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା ଦ୍ୱାର ଖୋଲାଯାଇପାରିବ|ଇଚିଂ ଚାମ୍ବରରେ ଥିବା ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଏକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପ ଏବଂ ଏକ ମଲିକୁଲାର ପମ୍ପ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଦାନ କରାଯାଇଥାଏ|ଇଚିଂ ଚାମ୍ବରରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଦ୍ ated ାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ଗ୍ୟାସ୍ ଗୁଡିକ ମଧ୍ୟ ଭ୍ୟାକ୍ଅମ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଦ୍ୱାରା ବାହାର କରାଯାଇଥାଏ |